TY - JOUR AU - Реков, Ю. В. AU - Червоний, І. Ф. PY - 2013/10/31 Y2 - 2024/03/29 TI - ПІДГОТОВКА ПРОЦЕСУ ВІДНОВЛЕННЯ ТРИХЛОРСИЛАНУ ВОДНЕМ JF - Вісник Вінницького політехнічного інституту JA - Вісник ВПІ VL - 0 IS - 5 SE - Екологія, екологічна кібернетика та хімічні технології DO - UR - https://visnyk.vntu.edu.ua/index.php/visnyk/article/view/1028 SP - 26-31 AB - Оцінені енергетичні та електричні параметри попереднього нагрівання кремнієвих прутків-підкладок задля генерації носіїв заряду і забезпечення необхідної провідності кремнію при виробництві високочистого полікристалічного кремнію. Обґрунтована доцільність використання легованих кремнієвих прутків-підкладок для виробництва полікристалічного кремнію із заданим рівнем концентрації легувальної домішки з метою підвищення продуктивності виробництва та зниження собівартості полікристалічного кремнію. ER -