TY - JOUR AU - Осадчук, В. С. AU - Осадчук, О. В. AU - Барабан, С. В. AU - Ільченко, О. М. PY - 2010/11/12 Y2 - 2024/03/28 TI - Розробка радіовимірювальних мікроелектронних перетворювачів температури на основі структури метал-сегнетоелектрик-напівпровідник JF - Вісник Вінницького політехнічного інституту JA - Вісник ВПІ VL - 0 IS - 3 SE - Радіоелектроніка та радіоелектронне апаратобудування DO - UR - https://visnyk.vntu.edu.ua/index.php/visnyk/article/view/607 SP - 94-97 AB - Проаналізовано сучасні технології отримання тонких сегнетоелектричних плівок, методи побудови радіовимірювальних мікроелектронних перетворювачів температури. Запропоновано новий метод вимірювання температури на основі поєднання сегнетоелектричних тонких плівок з транзисторними структурами з від'ємним опором та розроблено електричні схеми радіовимірювальних мікроелектронних перетворювачів температури на основі структури метал-сегнетоелектрик-напівпровідник. ER -