МІКРОЕЛЕКТРОННИЙ ОПТИЧНИЙ ПЕРЕТВОРЮВАЧ ДЛЯ КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ. Вісник ВПІ [інтернет]. 12, Листопад 2010 [цит. за 10, Жовтень 2026];(5):134-40. доступний у: https://visnyk.vntu.edu.ua/index.php/visnyk/article/view/1784