Екологія, екологічна кібернетика та хімічні технології
ПІДГОТОВКА ПРОЦЕСУ ВІДНОВЛЕННЯ ТРИХЛОРСИЛАНУ ВОДНЕМ
Анотація
Оцінені енергетичні та електричні параметри попереднього нагрівання кремнієвих прутків-підкладок задля генерації носіїв заряду і забезпечення необхідної провідності кремнію при виробництві високочистого полікристалічного кремнію. Обґрунтована доцільність використання легованих кремнієвих прутків-підкладок для виробництва полікристалічного кремнію із заданим рівнем концентрації легувальної домішки з метою підвищення продуктивності виробництва та зниження собівартості полікристалічного кремнію.
Як цитувати
[1]
«ПІДГОТОВКА ПРОЦЕСУ ВІДНОВЛЕННЯ ТРИХЛОРСИЛАНУ ВОДНЕМ», Вісник ВПІ, вип. 5, с. 26–31, Жов 2013, дата звернення: Жов 07, 2026. доступний у: https://visnyk.vntu.edu.ua/index.php/visnyk/article/view/1028
