ПІДГОТОВКА ПРОЦЕСУ ВІДНОВЛЕННЯ ТРИХЛОРСИЛАНУ ВОДНЕМ

Автор(и)

  • Ю. В. Реков Запорізька державна інженерна академія
  • І. Ф. Червоний Запорізька державна інженерна академія

Анотація

Оцінені енергетичні та електричні параметри попереднього нагрівання кремнієвих прутків-підкладок задля генерації носіїв заряду і забезпечення необхідної провідності кремнію при виробництві високочистого полікристалічного кремнію. Обґрунтована доцільність використання легованих кремнієвих прутків-підкладок для виробництва полікристалічного кремнію із заданим рівнем концентрації легувальної домішки з метою підвищення продуктивності виробництва та зниження собівартості полікристалічного кремнію.

Біографії авторів

Ю. В. Реков, Запорізька державна інженерна академія

аспірант, кафедра металургії кольорових металів

І. Ф. Червоний, Запорізька державна інженерна академія

завідувач кафедри металургії кольорових металів,

Посилання

1. Технология полупроводникового кремния : моногр. / [Э. С. Фалькевич, Э. О. Пульнер, И. Ф. Червонный и др.];
под ред. Э. С. Фалькевича. — М. : Металлургия, 1992. —408 с.
2. Павлов П. В. Физика твердого тела: учеб. пос. для вузов / П. В. Павлов, А. Ф. Хохлов. — М. : Высшая школа, 2000.
— 494 с.
3. Василевский А. С. Физика твердого тела : учеб. пос. для вузов // А. С. Василевский. — М. : Дрофа, 2010. — 206 с.
4. Кошкин И. И. Справочник по элементарной физике / И. И. Кошкин, М. Г. Ширкевич. — М. : Наука. Главная ре-
дакция физико-математической литературы, 1982. — 334 с.
5. Сивухин Д. В. Общий курс физики. В 5 т. Т 3. Электричество : учеб. пос. для вузов / Д. В. Сивухин. —– 4-е изд. —
М. : Физматлит; изд-во МФТИ, 2004. — 656 с.
6. Напівпровідниковий кремній: теорія і технологія виробництва : моногр. / [І. Ф. Червоний, В. З. Куцова, В. І. Пожу-
єв та ін.] ; за ред. І. Ф. Червоного. — Запоріжжя : ЗДІА, 2009. — 488 с.

##submission.downloads##

  • PDF
    Завантажень: 80
Переглядів анотації: 110

Як цитувати

[1]
Ю. В. Реков і І. Ф. Червоний, «ПІДГОТОВКА ПРОЦЕСУ ВІДНОВЛЕННЯ ТРИХЛОРСИЛАНУ ВОДНЕМ», Вісник ВПІ, вип. 5, с. 26–31, Жовт. 2013.

Номер

№ 5 (2013)

Розділ

Екологія, екологічна кібернетика та хімічні технології

Метрики

Завантаження

Дані завантаження ще не доступні.

Ліцензія

Автори, які публікуються у цьому журналі, згодні з такими умовами:

  • Автори зберігають авторське право і надають журналу право першої публі­кації.
  • Автори можуть укладати окремі, додат­кові договірні угоди з неексклюзив­ного поширення опублікованої журналом версії статті (наприклад, розмістити її в інститутському репозиторії або опубліку­вати її в книзі), з визнанням її первісної публікації в цьому журналі.
  • Авторам дозволяється і рекомендується розміщувати їхню роботу в Інтернеті (наприклад, в інституційних сховищах або на їхньому сайті) до і під час процесу подачі, оскільки це сприяє продуктивним обмінам, а також швидшому і ширшому цитуванню опубліко­ва­них робіт (див. вплив відкритого доступу).