ПІДГОТОВКА ПРОЦЕСУ ВІДНОВЛЕННЯ ТРИХЛОРСИЛАНУ ВОДНЕМ

  • Ю. В. Реков Запорізька державна інженерна академія
  • І. Ф. Червоний Запорізька державна інженерна академія

Анотація

Оцінені енергетичні та електричні параметри попереднього нагрівання кремнієвих прутків-підкладок задля генерації носіїв заряду і забезпечення необхідної провідності кремнію при виробництві високочистого полікристалічного кремнію. Обґрунтована доцільність використання легованих кремнієвих прутків-підкладок для виробництва полікристалічного кремнію із заданим рівнем концентрації легувальної домішки з метою підвищення продуктивності виробництва та зниження собівартості полікристалічного кремнію.

Біографії авторів

Ю. В. Реков, Запорізька державна інженерна академія
аспірант, кафедра металургії кольорових металів
І. Ф. Червоний, Запорізька державна інженерна академія
завідувач кафедри металургії кольорових металів,

Посилання

1. Технология полупроводникового кремния : моногр. / [Э. С. Фалькевич, Э. О. Пульнер, И. Ф. Червонный и др.];
под ред. Э. С. Фалькевича. — М. : Металлургия, 1992. —408 с.
2. Павлов П. В. Физика твердого тела: учеб. пос. для вузов / П. В. Павлов, А. Ф. Хохлов. — М. : Высшая школа, 2000.
— 494 с.
3. Василевский А. С. Физика твердого тела : учеб. пос. для вузов // А. С. Василевский. — М. : Дрофа, 2010. — 206 с.
4. Кошкин И. И. Справочник по элементарной физике / И. И. Кошкин, М. Г. Ширкевич. — М. : Наука. Главная ре-
дакция физико-математической литературы, 1982. — 334 с.
5. Сивухин Д. В. Общий курс физики. В 5 т. Т 3. Электричество : учеб. пос. для вузов / Д. В. Сивухин. —– 4-е изд. —
М. : Физматлит; изд-во МФТИ, 2004. — 656 с.
6. Напівпровідниковий кремній: теорія і технологія виробництва : моногр. / [І. Ф. Червоний, В. З. Куцова, В. І. Пожу-
єв та ін.] ; за ред. І. Ф. Червоного. — Запоріжжя : ЗДІА, 2009. — 488 с.
Як цитувати
[1]
Ю. Реков і І. Червоний, ПІДГОТОВКА ПРОЦЕСУ ВІДНОВЛЕННЯ ТРИХЛОРСИЛАНУ ВОДНЕМ, Вісник Вінницького політехнічного інституту, № 5, с. 26-31, 1.
Номер
Розділ
Екологія, екологічна кібернетика та хімічні технології