Автоматика та інформаційно-вимірювальна техніка
МОДЕЛЮВАННЯ ДИНАМІКИ ФОРМУВАННЯ НАНОПЛІВОК
Ключові слова
наноматеріали
Сvd-технологія
молекулярна динаміка
дифузія газової фази
Анотація
Промодельовано процес осадження наноматеріалів за CVD-технологією методами нелінійної молекулярної динаміки, отримано залежність АЧХ Фур’є перетворення від початкового значення швидкості руху атомів (температури) та показника дифузії газової фази.
Як цитувати
[1]
«МОДЕЛЮВАННЯ ДИНАМІКИ ФОРМУВАННЯ НАНОПЛІВОК», Вісник ВПІ, вип. 3, с. 13–16, Лис 2010, дата звернення: Жов 04, 2026. доступний у: https://visnyk.vntu.edu.ua/index.php/visnyk/article/view/741
