ОПТИЧНИЙ МІКРОЕЛЕКТРОННИЙ ПЕРЕТВОРЮВАЧ З АКТИВНИМ ІНДУКТИВНИМ ЕЛЕМЕНТОМ ДЛЯ КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ

Автор(и)

  • В. С. Осадчук завідувач кафедри електроніки
  • О. В. Осадчук завідувач кафедри радіотехніки
  • Ю. С. Кравченко доцент кафедри електроніки
  • О. О. Селецька аспірантка кафедри електроніки

Ключові слова:

мікроелектронний оптичний перетворювач, від’ємний диференційний опір, реактивні властивості транзисторних структур

Анотація

Розроблено математичну модель мікроелектронного оптичного перетворювача з активним індуктивним елементом, призначеного для контролю плазмохімічних процесів. На основі моделі отримано аналітичні залежності для функції перетворення та рівняння чутливості.

Біографії авторів

В. С. Осадчук, завідувач кафедри електроніки

Вінницький національний технічний університет

О. В. Осадчук, завідувач кафедри радіотехніки

Вінницький національний технічний університет

Ю. С. Кравченко, доцент кафедри електроніки

Вінницький національний технічний університет

О. О. Селецька, аспірантка кафедри електроніки

Вінницький національний технічний університет

Посилання

1. Орликовский А. А. Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники / А. А. Орли-ковский, К. В. Руденко, Я. Н. Суханов // Современное состояние и ближайшие перспективы. Часть IV. Микроэлектроника. — 2001. — Т. 30. — № 6. — С. 403—433.
2. Кравченко Ю. С. Шляхи підвищення ефективності контролю і управління плазмохімічними процесами / Юрій Степанович Кравченко, Володимир Степанович Осадчук, Сергій Юрійович Кравченко // Вісник Вінницького політехніч-ного інституту. —2007. — № 6. — С. 119—125.
3. Александр Владимирович Осадчук. Фоточувствительные преобразователи на основе структур с отрицательным сопротивлением : монография / А. В. Осадчук. — Винница : Континет, 1998. — 130 с.
4. Осадчук О. В. Мікроелектронні частотні перетворювачі на основі транзисторних структур з від’ємним опором /
О. В. Осадчук. — Вінниця : УНІВЕРСУМ-Вінниця, 2000. —303 с.

##submission.downloads##

Переглядів анотації: 118

Опубліковано

2010-11-12

Як цитувати

[1]
В. С. Осадчук, О. В. Осадчук, Ю. С. Кравченко, і О. О. Селецька, «ОПТИЧНИЙ МІКРОЕЛЕКТРОННИЙ ПЕРЕТВОРЮВАЧ З АКТИВНИМ ІНДУКТИВНИМ ЕЛЕМЕНТОМ ДЛЯ КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ», Вісник ВПІ, вип. 6, с. 94–100, Листоп. 2010.

Номер

Розділ

Радіоелектроніка та радіоелектронне апаратобудування

Метрики

Завантаження

Дані завантаження ще не доступні.

Статті цього автора (авторів), які найбільше читають

1 2 3 4 > >>