ОПТИЧНИЙ МІКРОЕЛЕКТРОННИЙ ПЕРЕТВОРЮВАЧ З АКТИВНИМ ІНДУКТИВНИМ ЕЛЕМЕНТОМ ДЛЯ КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ
Ключові слова:
мікроелектронний оптичний перетворювач, від’ємний диференційний опір, реактивні властивості транзисторних структурАнотація
Розроблено математичну модель мікроелектронного оптичного перетворювача з активним індуктивним елементом, призначеного для контролю плазмохімічних процесів. На основі моделі отримано аналітичні залежності для функції перетворення та рівняння чутливості.Посилання
1. Орликовский А. А. Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники / А. А. Орли-ковский, К. В. Руденко, Я. Н. Суханов // Современное состояние и ближайшие перспективы. Часть IV. Микроэлектроника. — 2001. — Т. 30. — № 6. — С. 403—433.
2. Кравченко Ю. С. Шляхи підвищення ефективності контролю і управління плазмохімічними процесами / Юрій Степанович Кравченко, Володимир Степанович Осадчук, Сергій Юрійович Кравченко // Вісник Вінницького політехніч-ного інституту. —2007. — № 6. — С. 119—125.
3. Александр Владимирович Осадчук. Фоточувствительные преобразователи на основе структур с отрицательным сопротивлением : монография / А. В. Осадчук. — Винница : Континет, 1998. — 130 с.
4. Осадчук О. В. Мікроелектронні частотні перетворювачі на основі транзисторних структур з від’ємним опором /
О. В. Осадчук. — Вінниця : УНІВЕРСУМ-Вінниця, 2000. —303 с.
2. Кравченко Ю. С. Шляхи підвищення ефективності контролю і управління плазмохімічними процесами / Юрій Степанович Кравченко, Володимир Степанович Осадчук, Сергій Юрійович Кравченко // Вісник Вінницького політехніч-ного інституту. —2007. — № 6. — С. 119—125.
3. Александр Владимирович Осадчук. Фоточувствительные преобразователи на основе структур с отрицательным сопротивлением : монография / А. В. Осадчук. — Винница : Континет, 1998. — 130 с.
4. Осадчук О. В. Мікроелектронні частотні перетворювачі на основі транзисторних структур з від’ємним опором /
О. В. Осадчук. — Вінниця : УНІВЕРСУМ-Вінниця, 2000. —303 с.
##submission.downloads##
-
PDF
Завантажень: 37
Переглядів анотації: 138
Опубліковано
2010-11-12
Як цитувати
[1]
В. С. Осадчук, О. В. Осадчук, Ю. С. Кравченко, і О. О. Селецька, «ОПТИЧНИЙ МІКРОЕЛЕКТРОННИЙ ПЕРЕТВОРЮВАЧ З АКТИВНИМ ІНДУКТИВНИМ ЕЛЕМЕНТОМ ДЛЯ КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ», Вісник ВПІ, вип. 6, с. 94–100, Листоп. 2010.
Номер
Розділ
Радіоелектроніка та радіоелектронне апаратобудування
Ліцензія
Автори, які публікуються у цьому журналі, згодні з такими умовами:
- Автори зберігають авторське право і надають журналу право першої публікації.
- Автори можуть укладати окремі, додаткові договірні угоди з неексклюзивного поширення опублікованої журналом версії статті (наприклад, розмістити її в інститутському репозиторії або опублікувати її в книзі), з визнанням її первісної публікації в цьому журналі.
- Авторам дозволяється і рекомендується розміщувати їхню роботу в Інтернеті (наприклад, в інституційних сховищах або на їхньому сайті) до і під час процесу подачі, оскільки це сприяє продуктивним обмінам, а також швидшому і ширшому цитуванню опублікованих робіт (див. вплив відкритого доступу).
