Радіоелектроніка та радіоелектронне апаратобудування
ОПТИЧНИЙ МІКРОЕЛЕКТРОННИЙ ПЕРЕТВОРЮВАЧ З АКТИВНИМ ІНДУКТИВНИМ ЕЛЕМЕНТОМ ДЛЯ КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ
Ключові слова
мікроелектронний оптичний перетворювач
від’ємний диференційний опір
реактивні властивості транзисторних структур
Анотація
Розроблено математичну модель мікроелектронного оптичного перетворювача з активним індуктивним елементом, призначеного для контролю плазмохімічних процесів. На основі моделі отримано аналітичні залежності для функції перетворення та рівняння чутливості.
Як цитувати
[1]
«ОПТИЧНИЙ МІКРОЕЛЕКТРОННИЙ ПЕРЕТВОРЮВАЧ З АКТИВНИМ ІНДУКТИВНИМ ЕЛЕМЕНТОМ ДЛЯ КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ», Вісник ВПІ, вип. 6, с. 94–100, Лис 2010, дата звернення: Жов 05, 2026. доступний у: https://visnyk.vntu.edu.ua/index.php/visnyk/article/view/1809
