Радіоелектроніка та радіоелектронне апаратобудування
Розробка радіовимірювальних мікроелектронних перетворювачів температури на основі структури метал-сегнетоелектрик-напівпровідник
Ключові слова
тонкі сегнетоелектричні плівки
золь-гель процес
радіовимірювальні мікроелектронні перетворювачі температури
структура метал-сегнетоелектрик-напівпровідник
транзисторні структури з від'ємним опором
Анотація
Проаналізовано сучасні технології отримання тонких сегнетоелектричних плівок, методи побудови радіовимірювальних мікроелектронних перетворювачів температури. Запропоновано новий метод вимірювання температури на основі поєднання сегнетоелектричних тонких плівок з транзисторними структурами з від'ємним опором та розроблено електричні схеми радіовимірювальних мікроелектронних перетворювачів температури на основі структури метал-сегнетоелектрик-напівпровідник.
Як цитувати
[1]
«Розробка радіовимірювальних мікроелектронних перетворювачів температури на основі структури метал-сегнетоелектрик-напівпровідник», Вісник ВПІ, вип. 3, с. 94–97, Лис 2010, дата звернення: Жов 05, 2026. доступний у: https://visnyk.vntu.edu.ua/index.php/visnyk/article/view/607
