БАГАТОКАНАЛЬНА СИСТЕМА РЕЄСТРАЦІЇ СПЕКТРА ВИПРОМІНЮВАННЯ НЕРІВНОВАЖНОЇ ПЛАЗМИ

  • В. М. Білилівський Вінницький національний технічний університет
  • С. Ю. Кравченко Вінницький національний технічний університет
  • Ю. С. Кравченко Вінницький національний технічний університет
  • В. С. Осадчук Вінницький національний технічний університет
Ключові слова: плазмохімічне травлення, оптичне випромінювання, фотоперетворювач, система реєстрації, схема електрична, мікроконтролер

Анотація

На базі мікроконтролера РІС16F877A розроблена мікропроцесорна система реєстрації спектра випромінювання нерівноважної плазми для контролю плазмохімічних процесів. Система дозволяє проводити одночасну обробку даних від чотирьох незалежних джерел інформації та візуалізувати цільовий процес плазмового травлення мікроструктур.

Біографії авторів

В. М. Білилівський, Вінницький національний технічний університет
студент Інституту радіотехніки, зв’язку та приладобудування
С. Ю. Кравченко, Вінницький національний технічний університет
аспірант
Ю. С. Кравченко, Вінницький національний технічний університет
доцент
В. С. Осадчук, Вінницький національний технічний університет
професор

Посилання

1. Орликовский А. А. Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники : современное состояние и ближайшие перспективы. Часть IV / А. А. Орликовский, К. В. Руденко, Я. Н. Суханов // Микроэлектроника. — 2001. — Т. 30. — № 6. — С. 403 — 433.
2. Контроль процессов травления материалов в низкотемпературной газоразрядной плазме / [В. С. Данилин,
В. Ю. Киреев, В. А. Каплин, и др.] // Приборы и техника эксперимента. — 1982. — № 1. — С. 13—28.
3. Исследование и контроль плазмохимических процессов / [Н. К. Юдина, М. С. Чупахин, Э. А. Лебедев, Н. Н. Федоров] // Зарубежная электронная техника. — 1980. — Вып. 3 (223). — С. 3—54.
4. Даниленко О. О. Оптичний емісійно-спектральний контроль процесів травлення в низькотемпературній плазмі /
О. О.Даниленко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2005. —
№ 2 (10). — С. 173—180.
5. Пат. 26976 Україна, МПК H 01 L 21/302. Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного трав-лення / С. Ю. Кравченко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук, О. В. Осадчук. — 2007. — Бюл. № 16.
6. Диагностика плазмохимического травления SiO2 / Si и определение момента окончания травления / [Ю. П. Барышев, А. П. Ершов, К. Ш. Исаев и др.] // Микроэлектроника. — 1996. — Т. 25. — № 5. — С. 373—379.
7. Katzen S. Low cost PC-based quad channel real-time / storage oscilloscope / S. Katzen, C. Tuner // BEng (HONS) Electronic Systems, 2002. — 170 р.
8. Ульрих В. А. Микроконтроллеры PIC16C7X. Семейство восьмиразрядных КМОП микроконтроллеров с аналого-цифровым преобразователем / В. А. Ульрих. — СПб. : Наука и техника, 2000. — 253 с.
Опубліковано
2010-11-12
Як цитувати
[1]
В. М. Білилівський, С. Ю. Кравченко, Ю. С. Кравченко, і В. С. Осадчук, БАГАТОКАНАЛЬНА СИСТЕМА РЕЄСТРАЦІЇ СПЕКТРА ВИПРОМІНЮВАННЯ НЕРІВНОВАЖНОЇ ПЛАЗМИ, Вісник Вінницького політехнічного інституту, № 4, с. 169-172, Лис 2010.
Номер
Розділ
Радіоелектроніка та радіоелектронне апаратобудування

Найчитабильні статті цього ж автора(ів)

1 2 > >>