БАГАТОКАНАЛЬНА СИСТЕМА РЕЄСТРАЦІЇ СПЕКТРА ВИПРОМІНЮВАННЯ НЕРІВНОВАЖНОЇ ПЛАЗМИ
Ключові слова:
плазмохімічне травлення, оптичне випромінювання, фотоперетворювач, система реєстрації, схема електрична, мікроконтролерАнотація
На базі мікроконтролера РІС16F877A розроблена мікропроцесорна система реєстрації спектра випромінювання нерівноважної плазми для контролю плазмохімічних процесів. Система дозволяє проводити одночасну обробку даних від чотирьох незалежних джерел інформації та візуалізувати цільовий процес плазмового травлення мікроструктур.Посилання
1. Орликовский А. А. Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники : современное состояние и ближайшие перспективы. Часть IV / А. А. Орликовский, К. В. Руденко, Я. Н. Суханов // Микроэлектроника. — 2001. — Т. 30. — № 6. — С. 403 — 433.
2. Контроль процессов травления материалов в низкотемпературной газоразрядной плазме / [В. С. Данилин,
В. Ю. Киреев, В. А. Каплин, и др.] // Приборы и техника эксперимента. — 1982. — № 1. — С. 13—28.
3. Исследование и контроль плазмохимических процессов / [Н. К. Юдина, М. С. Чупахин, Э. А. Лебедев, Н. Н. Федоров] // Зарубежная электронная техника. — 1980. — Вып. 3 (223). — С. 3—54.
4. Даниленко О. О. Оптичний емісійно-спектральний контроль процесів травлення в низькотемпературній плазмі /
О. О.Даниленко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2005. —
№ 2 (10). — С. 173—180.
5. Пат. 26976 Україна, МПК H 01 L 21/302. Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного трав-лення / С. Ю. Кравченко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук, О. В. Осадчук. — 2007. — Бюл. № 16.
6. Диагностика плазмохимического травления SiO2 / Si и определение момента окончания травления / [Ю. П. Барышев, А. П. Ершов, К. Ш. Исаев и др.] // Микроэлектроника. — 1996. — Т. 25. — № 5. — С. 373—379.
7. Katzen S. Low cost PC-based quad channel real-time / storage oscilloscope / S. Katzen, C. Tuner // BEng (HONS) Electronic Systems, 2002. — 170 р.
8. Ульрих В. А. Микроконтроллеры PIC16C7X. Семейство восьмиразрядных КМОП микроконтроллеров с аналого-цифровым преобразователем / В. А. Ульрих. — СПб. : Наука и техника, 2000. — 253 с.
2. Контроль процессов травления материалов в низкотемпературной газоразрядной плазме / [В. С. Данилин,
В. Ю. Киреев, В. А. Каплин, и др.] // Приборы и техника эксперимента. — 1982. — № 1. — С. 13—28.
3. Исследование и контроль плазмохимических процессов / [Н. К. Юдина, М. С. Чупахин, Э. А. Лебедев, Н. Н. Федоров] // Зарубежная электронная техника. — 1980. — Вып. 3 (223). — С. 3—54.
4. Даниленко О. О. Оптичний емісійно-спектральний контроль процесів травлення в низькотемпературній плазмі /
О. О.Даниленко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2005. —
№ 2 (10). — С. 173—180.
5. Пат. 26976 Україна, МПК H 01 L 21/302. Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного трав-лення / С. Ю. Кравченко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук, О. В. Осадчук. — 2007. — Бюл. № 16.
6. Диагностика плазмохимического травления SiO2 / Si и определение момента окончания травления / [Ю. П. Барышев, А. П. Ершов, К. Ш. Исаев и др.] // Микроэлектроника. — 1996. — Т. 25. — № 5. — С. 373—379.
7. Katzen S. Low cost PC-based quad channel real-time / storage oscilloscope / S. Katzen, C. Tuner // BEng (HONS) Electronic Systems, 2002. — 170 р.
8. Ульрих В. А. Микроконтроллеры PIC16C7X. Семейство восьмиразрядных КМОП микроконтроллеров с аналого-цифровым преобразователем / В. А. Ульрих. — СПб. : Наука и техника, 2000. — 253 с.
##submission.downloads##
-
PDF
Завантажень: 34
Переглядів анотації: 161
Опубліковано
2010-11-12
Як цитувати
[1]
В. М. Білилівський, С. Ю. Кравченко, Ю. С. Кравченко, і В. С. Осадчук, «БАГАТОКАНАЛЬНА СИСТЕМА РЕЄСТРАЦІЇ СПЕКТРА ВИПРОМІНЮВАННЯ НЕРІВНОВАЖНОЇ ПЛАЗМИ», Вісник ВПІ, вип. 4, с. 169–172, Листоп. 2010.
Номер
Розділ
Радіоелектроніка та радіоелектронне апаратобудування
Ліцензія
Автори, які публікуються у цьому журналі, згодні з такими умовами:
- Автори зберігають авторське право і надають журналу право першої публікації.
- Автори можуть укладати окремі, додаткові договірні угоди з неексклюзивного поширення опублікованої журналом версії статті (наприклад, розмістити її в інститутському репозиторії або опублікувати її в книзі), з визнанням її первісної публікації в цьому журналі.
- Авторам дозволяється і рекомендується розміщувати їхню роботу в Інтернеті (наприклад, в інституційних сховищах або на їхньому сайті) до і під час процесу подачі, оскільки це сприяє продуктивним обмінам, а також швидшому і ширшому цитуванню опублікованих робіт (див. вплив відкритого доступу).
