Шляхи підвищення ефективності контролю і управління плазмохімічними процесами

  • Ю. С. Кравченко
  • В. С. Осадчук
  • С. Ю. Кравченко
Ключові слова: плазмохімічні процеси, мікроелектронна технологія, контроль, управління, сенсор-датчик, плазмохімічне травлення, контролер

Анотація

Проаналізовано шляхи підвищення ефективності контролю і управління плазмохімічними процесами в мікроелектронній технології за рахунок впровадження нових підходів в реалізації контролю на основі сучасних досягнень в цій області, а також побудови систем управління в реальному часі, розробки сучасних контролерів на основі використання моделі процесу з використанням сучасних сенсорів в колі зворотного зв’язку, розробки нових типів контролерів управління.
Переглядів анотації: 46 Завантажень PDF: 18
Опубліковано
2010-11-12
Як цитувати
[1]
Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук, і С. Ю. Кравченко, Шляхи підвищення ефективності контролю і управління плазмохімічними процесами, Вісник Вінницького політехнічного інституту, № 6, с. 119-125, Лис 2010.
Номер
Розділ
Радіоелектроніка та радіоелектронне апаратобудування

Завантаження

Данные скачивания пока не доступны.

Найчитабильні статті цього ж автора(ів)