Шляхи підвищення ефективності контролю і управління плазмохімічними процесами

Автор(и)

  • Ю. С. Кравченко
  • В. С. Осадчук
  • С. Ю. Кравченко

Ключові слова:

плазмохімічні процеси, мікроелектронна технологія, контроль, управління, сенсор-датчик, плазмохімічне травлення, контролер

Анотація

Проаналізовано шляхи підвищення ефективності контролю і управління плазмохімічними процесами в мікроелектронній технології за рахунок впровадження нових підходів в реалізації контролю на основі сучасних досягнень в цій області, а також побудови систем управління в реальному часі, розробки сучасних контролерів на основі використання моделі процесу з використанням сучасних сенсорів в колі зворотного зв’язку, розробки нових типів контролерів управління.

##submission.downloads##

Переглядів анотації: 161

Опубліковано

2010-11-12

Як цитувати

[1]
Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук, і С. Ю. Кравченко, «Шляхи підвищення ефективності контролю і управління плазмохімічними процесами», Вісник ВПІ, вип. 6, с. 119–125, Листоп. 2010.

Номер

Розділ

Радіоелектроніка та радіоелектронне апаратобудування

Метрики

Завантаження

Дані завантаження ще не доступні.

Статті цього автора (авторів), які найбільше читають

1 2 3 > >>