ВИЗНАЧЕННЯ ВОЛЬТ-АМПЕРНОЇ ХАРАКТЕРИСТИКИ ЧАСТОТНОГО ОПТИЧНОГО ПЕРЕТВОРЮВАЧА ДЛЯ ДВОКАНАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ

Автор(и)

  • Ю. С. Кравченко Вінницький національний технічний університет
  • В. С. Осадчук Вінницький національний технічний університет
  • С. Ю. Кравченко Вінницький національний технічний університет

Ключові слова:

плазмохімічні процеси, контроль, оптичний частотний перетворювач, вольт-амперна характеристика

Анотація

Отримано аналітичний вираз вольт-амперної характеристики оптичного частотного перетворювача для контролю плазмохімічних процесів на основі системи рівнянь Кірхгофа, складеної для еквівалентної схеми перетворювача по постійному струму.

Біографії авторів

Ю. С. Кравченко, Вінницький національний технічний університет

доцент кафедри електроніки

В. С. Осадчук, Вінницький національний технічний університет

завідувач кафедри електроніки

С. Ю. Кравченко, Вінницький національний технічний університет

студент Інституту радіотехніки, зв’язку та приладобудування

Посилання

1. Орликовский А. А. Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники: Современное состояние и ближайшие перспективы. Часть I. / А. А. Орликовский, К. В. Руденко // Микроэлектроника. — 2001. — Т. 30, № 2. — С. 85 — 105.
2. Данилин В. С. Контроль процессов травления материалов в низкотемпературной газоразрядной плазме / В. С. Данилин, В. Ю. Киреев, В. А. Каплин, Э. А. Лебедев, Н. Н. Федоров // Приборы и техника эксперимента. — 1980. — № 1. — С. 13 —28.
3. Даниленко О. О. Оптичний емісійно-спектральний контроль процесів травлення в низькотемпературній плазмі / О. О. Даниленко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2005. — № 2 (10). — С. 173 — 180.
4. Патент № 26976 Україна, МПК7 H01L 21/302. Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення / С. Ю. Кравченко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук, О. В. Осадчук / № 06553; Заявл. 11.06.2007; Опубл. 10.10.2007. Бюл. № 16. — 2 с.
5. Патент № 26975 Україна, МПК7 H01L 21/302. Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення / С. Ю. Кравченко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук, О. В. Осадчук / — № 06552; Заявл. 11.06.2007;
Опубл. 10.10.2007. Бюл. № 16. — 2 с.
6. Осадчук О. В. Мікроелектронні частотні перетворювачі на основі структур з від’ємним опором / О. В. Осадчук // Вінниця: УНІВЕРСУМ-Вінниця, 2001. — 303 с.

##submission.downloads##

  • PDF
    Завантажень: 38
Переглядів анотації: 172

Опубліковано

2010-11-12

Як цитувати

[1]
Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук, і С. Ю. Кравченко, «ВИЗНАЧЕННЯ ВОЛЬТ-АМПЕРНОЇ ХАРАКТЕРИСТИКИ ЧАСТОТНОГО ОПТИЧНОГО ПЕРЕТВОРЮВАЧА ДЛЯ ДВОКАНАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ», Вісник ВПІ, вип. 2, с. 108–111, Листоп. 2010.

Номер

№ 2 (2009)

Розділ

Радіоелектроніка та радіоелектронне апаратобудування

Метрики

Завантаження

Дані завантаження ще не доступні.

Ліцензія

Автори, які публікуються у цьому журналі, згодні з такими умовами:

  • Автори зберігають авторське право і надають журналу право першої публі­кації.
  • Автори можуть укладати окремі, додат­кові договірні угоди з неексклюзив­ного поширення опублікованої журналом версії статті (наприклад, розмістити її в інститутському репозиторії або опубліку­вати її в книзі), з визнанням її первісної публікації в цьому журналі.
  • Авторам дозволяється і рекомендується розміщувати їхню роботу в Інтернеті (наприклад, в інституційних сховищах або на їхньому сайті) до і під час процесу подачі, оскільки це сприяє продуктивним обмінам, а також швидшому і ширшому цитуванню опубліко­ва­них робіт (див. вплив відкритого доступу).

Статті цього автора (авторів), які найбільше читають

1 2 3 > >>