ВИЗНАЧЕННЯ ВОЛЬТ-АМПЕРНОЇ ХАРАКТЕРИСТИКИ ЧАСТОТНОГО ОПТИЧНОГО ПЕРЕТВОРЮВАЧА ДЛЯ ДВОКАНАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ

  • Ю. С. Кравченко Вінницький національний технічний університет
  • В. С. Осадчук Вінницький національний технічний університет
  • С. Ю. Кравченко Вінницький національний технічний університет
Ключові слова: плазмохімічні процеси, контроль, оптичний частотний перетворювач, вольт-амперна характеристика

Анотація

Отримано аналітичний вираз вольт-амперної характеристики оптичного частотного перетворювача для контролю плазмохімічних процесів на основі системи рівнянь Кірхгофа, складеної для еквівалентної схеми перетворювача по постійному струму.

Біографії авторів

Ю. С. Кравченко, Вінницький національний технічний університет

доцент кафедри електроніки

В. С. Осадчук, Вінницький національний технічний університет
завідувач кафедри електроніки
С. Ю. Кравченко, Вінницький національний технічний університет
студент Інституту радіотехніки, зв’язку та приладобудування

Посилання

1. Орликовский А. А. Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники: Современное состояние и ближайшие перспективы. Часть I. / А. А. Орликовский, К. В. Руденко // Микроэлектроника. — 2001. — Т. 30, № 2. — С. 85 — 105.
2. Данилин В. С. Контроль процессов травления материалов в низкотемпературной газоразрядной плазме / В. С. Данилин, В. Ю. Киреев, В. А. Каплин, Э. А. Лебедев, Н. Н. Федоров // Приборы и техника эксперимента. — 1980. — № 1. — С. 13 —28.
3. Даниленко О. О. Оптичний емісійно-спектральний контроль процесів травлення в низькотемпературній плазмі / О. О. Даниленко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2005. — № 2 (10). — С. 173 — 180.
4. Патент № 26976 Україна, МПК7 H01L 21/302. Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення / С. Ю. Кравченко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук, О. В. Осадчук / № 06553; Заявл. 11.06.2007; Опубл. 10.10.2007. Бюл. № 16. — 2 с.
5. Патент № 26975 Україна, МПК7 H01L 21/302. Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення / С. Ю. Кравченко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук, О. В. Осадчук / — № 06552; Заявл. 11.06.2007;
Опубл. 10.10.2007. Бюл. № 16. — 2 с.
6. Осадчук О. В. Мікроелектронні частотні перетворювачі на основі структур з від’ємним опором / О. В. Осадчук // Вінниця: УНІВЕРСУМ-Вінниця, 2001. — 303 с.
Переглядів анотації: 56 Завантажень PDF: 7
Опубліковано
2010-11-12
Як цитувати
[1]
Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук, і С. Ю. Кравченко, ВИЗНАЧЕННЯ ВОЛЬТ-АМПЕРНОЇ ХАРАКТЕРИСТИКИ ЧАСТОТНОГО ОПТИЧНОГО ПЕРЕТВОРЮВАЧА ДЛЯ ДВОКАНАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ, Вісник Вінницького політехнічного інституту, № 2, с. 108-111, Лис 2010.
Номер
Розділ
Радіоелектроніка та радіоелектронне апаратобудування

Завантаження

Данные скачивания пока не доступны.

Найчитабильні статті цього ж автора(ів)

1 2 > >>