Радіоелектроніка та радіоелектронне апаратобудування
Шляхи підвищення ефективності контролю і управління плазмохімічними процесами
Ключові слова
плазмохімічні процеси
мікроелектронна технологія
контроль
управління
сенсор-датчик
плазмохімічне травлення
контролер
Анотація
Проаналізовано шляхи підвищення ефективності контролю і управління плазмохімічними процесами в мікроелектронній технології за рахунок впровадження нових підходів в реалізації контролю на основі сучасних досягнень в цій області, а також побудови систем управління в реальному часі, розробки сучасних контролерів на основі використання моделі процесу з використанням сучасних сенсорів в колі зворотного зв’язку, розробки нових типів контролерів управління.
Як цитувати
[1]
«Шляхи підвищення ефективності контролю і управління плазмохімічними процесами», Вісник ВПІ, вип. 6, с. 119–125, Лис 2010, дата звернення: Жов 02, 2026. доступний у: https://visnyk.vntu.edu.ua/index.php/visnyk/article/view/545
