Радіоелектроніка та радіоелектронне апаратобудування
БАГАТОКАНАЛЬНА СИСТЕМА РЕЄСТРАЦІЇ СПЕКТРА ВИПРОМІНЮВАННЯ НЕРІВНОВАЖНОЇ ПЛАЗМИ
Ключові слова
плазмохімічне травлення
оптичне випромінювання
фотоперетворювач
система реєстрації
схема електрична
мікроконтролер
Анотація
На базі мікроконтролера РІС16F877A розроблена мікропроцесорна система реєстрації спектра випромінювання нерівноважної плазми для контролю плазмохімічних процесів. Система дозволяє проводити одночасну обробку даних від чотирьох незалежних джерел інформації та візуалізувати цільовий процес плазмового травлення мікроструктур.
Як цитувати
[1]
«БАГАТОКАНАЛЬНА СИСТЕМА РЕЄСТРАЦІЇ СПЕКТРА ВИПРОМІНЮВАННЯ НЕРІВНОВАЖНОЇ ПЛАЗМИ», Вісник ВПІ, вип. 4, с. 169–172, Лис 2010, дата звернення: Жов 02, 2026. доступний у: https://visnyk.vntu.edu.ua/index.php/visnyk/article/view/1502
