Determination of volt-ampere characteristic of optical converter for two-channel control of plasmachemical processes
Keywords:
plasmachemical processes, control, optical frequency converter, volt-ampere characteristicAbstract
Analytical expression of volt-ampere characteristic of optical frequency converter for control of plasmochemical processes based on the system of the Kyrkhgoff equations, composed for the equivalent circuit of converter by direct current.References
1. Орликовский А. А. Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники: Современное состояние и ближайшие перспективы. Часть I. / А. А. Орликовский, К. В. Руденко // Микроэлектроника. — 2001. — Т. 30, № 2. — С. 85 — 105.
2. Данилин В. С. Контроль процессов травления материалов в низкотемпературной газоразрядной плазме / В. С. Данилин, В. Ю. Киреев, В. А. Каплин, Э. А. Лебедев, Н. Н. Федоров // Приборы и техника эксперимента. — 1980. — № 1. — С. 13 —28.
3. Даниленко О. О. Оптичний емісійно-спектральний контроль процесів травлення в низькотемпературній плазмі / О. О. Даниленко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2005. — № 2 (10). — С. 173 — 180.
4. Патент № 26976 Україна, МПК7 H01L 21/302. Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення / С. Ю. Кравченко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук, О. В. Осадчук / № 06553; Заявл. 11.06.2007; Опубл. 10.10.2007. Бюл. № 16. — 2 с.
5. Патент № 26975 Україна, МПК7 H01L 21/302. Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення / С. Ю. Кравченко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук, О. В. Осадчук / — № 06552; Заявл. 11.06.2007;
Опубл. 10.10.2007. Бюл. № 16. — 2 с.
6. Осадчук О. В. Мікроелектронні частотні перетворювачі на основі структур з від’ємним опором / О. В. Осадчук // Вінниця: УНІВЕРСУМ-Вінниця, 2001. — 303 с.
2. Данилин В. С. Контроль процессов травления материалов в низкотемпературной газоразрядной плазме / В. С. Данилин, В. Ю. Киреев, В. А. Каплин, Э. А. Лебедев, Н. Н. Федоров // Приборы и техника эксперимента. — 1980. — № 1. — С. 13 —28.
3. Даниленко О. О. Оптичний емісійно-спектральний контроль процесів травлення в низькотемпературній плазмі / О. О. Даниленко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2005. — № 2 (10). — С. 173 — 180.
4. Патент № 26976 Україна, МПК7 H01L 21/302. Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення / С. Ю. Кравченко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук, О. В. Осадчук / № 06553; Заявл. 11.06.2007; Опубл. 10.10.2007. Бюл. № 16. — 2 с.
5. Патент № 26975 Україна, МПК7 H01L 21/302. Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення / С. Ю. Кравченко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук, О. В. Осадчук / — № 06552; Заявл. 11.06.2007;
Опубл. 10.10.2007. Бюл. № 16. — 2 с.
6. Осадчук О. В. Мікроелектронні частотні перетворювачі на основі структур з від’ємним опором / О. В. Осадчук // Вінниця: УНІВЕРСУМ-Вінниця, 2001. — 303 с.
Downloads
-
PDF (Українська)
Downloads: 38
Abstract views: 171
Published
2010-11-12
How to Cite
[1]
Y. S. Kravchenko, V. S. Osadchuk, and S. Y. Kravchenko, “Determination of volt-ampere characteristic of optical converter for two-channel control of plasmachemical processes”, Вісник ВПІ, no. 2, pp. 108–111, Nov. 2010.
Issue
Section
Radioelectronics and radioelectronic equipment manufacturing
License
Authors who publish with this journal agree to the following terms:
- Authors retain copyright and grant the journal right of first publication.
- Authors are able to enter into separate, additional contractual arrangements for the non-exclusive distribution of the journal's published version of the work (e.g., post it to an institutional repository or publish it in a book), with an acknowledgment of its initial publication in this journal.
- Authors are permitted and encouraged to post their work online (e.g., in institutional repositories or on their website) prior to and during the submission process, as it can lead to productive exchanges, as well as earlier and greater citation of published work (See The Effect of Open Access).
