Optical microelectronic converter with active inductive element for control of plasmochemical processes
Keywords:
microelectronic optical converter, negative differential resistance, reactive properties of structures of transistorsAbstract
Mathematical model of microelectronic optical converter with active inductive element for control of plasmochemical processes has been developed. On the base of this model analytical dependences for transformation function and the equation of sensitivity are obtained.References
1. Орликовский А. А. Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники / А. А. Орли-ковский, К. В. Руденко, Я. Н. Суханов // Современное состояние и ближайшие перспективы. Часть IV. Микроэлектроника. — 2001. — Т. 30. — № 6. — С. 403—433.
2. Кравченко Ю. С. Шляхи підвищення ефективності контролю і управління плазмохімічними процесами / Юрій Степанович Кравченко, Володимир Степанович Осадчук, Сергій Юрійович Кравченко // Вісник Вінницького політехніч-ного інституту. —2007. — № 6. — С. 119—125.
3. Александр Владимирович Осадчук. Фоточувствительные преобразователи на основе структур с отрицательным сопротивлением : монография / А. В. Осадчук. — Винница : Континет, 1998. — 130 с.
4. Осадчук О. В. Мікроелектронні частотні перетворювачі на основі транзисторних структур з від’ємним опором /
О. В. Осадчук. — Вінниця : УНІВЕРСУМ-Вінниця, 2000. —303 с.
2. Кравченко Ю. С. Шляхи підвищення ефективності контролю і управління плазмохімічними процесами / Юрій Степанович Кравченко, Володимир Степанович Осадчук, Сергій Юрійович Кравченко // Вісник Вінницького політехніч-ного інституту. —2007. — № 6. — С. 119—125.
3. Александр Владимирович Осадчук. Фоточувствительные преобразователи на основе структур с отрицательным сопротивлением : монография / А. В. Осадчук. — Винница : Континет, 1998. — 130 с.
4. Осадчук О. В. Мікроелектронні частотні перетворювачі на основі транзисторних структур з від’ємним опором /
О. В. Осадчук. — Вінниця : УНІВЕРСУМ-Вінниця, 2000. —303 с.
Downloads
-
PDF (Українська)
Downloads: 30
Abstract views: 117
Published
2010-11-12
How to Cite
[1]
V. S. Osadchuk, O. V. Osadchuk, Y. S. Kravchenko, and O. O. Seletska, “Optical microelectronic converter with active inductive element for control of plasmochemical processes”, Вісник ВПІ, no. 6, pp. 94–100, Nov. 2010.
Issue
Section
Radioelectronics and radioelectronic equipment manufacturing
License
Authors who publish with this journal agree to the following terms:
- Authors retain copyright and grant the journal right of first publication.
- Authors are able to enter into separate, additional contractual arrangements for the non-exclusive distribution of the journal's published version of the work (e.g., post it to an institutional repository or publish it in a book), with an acknowledgment of its initial publication in this journal.
- Authors are permitted and encouraged to post their work online (e.g., in institutional repositories or on their website) prior to and during the submission process, as it can lead to productive exchanges, as well as earlier and greater citation of published work (See The Effect of Open Access).
